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機臺名稱:多層爐無塵烤箱
應用范圍: FPD(STN-LCD、TFT-LCD、COLORFILTEP、TOUCH PANEL、OLED、PDP、ITOGlass保護膠烘烤等制程烘烤
性能特點:與機械手搭配分層取、放玻璃
潔凈度:class100#(FED-STD-209E潔凈標準等級)
均勻性:±3.0%(空載測試)
規格參數:
型號 | KLMO-8 | KLMO-9 | KLMO-10 |
內尺寸W/D/Hmm | 935/1390/926 | 935/1390/1235 | 935/1390/1800 |
外尺寸W/D/Hmm | 2020/1730/2568 | 2020/1730/2580 | 2020/1730/3140 |
整機功率 | AC 380V 36KW | AC 380V 40KW | AC380V 50KW |
內箱層數 | 12 | 18 | 33 |
開啟門數 | 7 | 10 | 12 |
馬達位置 | 底部 | 頂部 | 底部 |
每層高度 | 55~60mm | ||
溫度范圍 | 60~200℃(300℃) | ||
基材尺寸 | 500*600~730*920mm | ||
基板厚度 | T=025mm~1.1mm | ||
溫度均勻性 | ±3.0%(空載測試) | ||
第一層距地高度 | 1150mm | ||
進氣量 | N2或Clean AirMAX:25L/min | ||
排氣口 | 手動風門 | ||
潔凈度 | class1000#(FED-STD-209E潔凈標準等級) | ||
內箱材質 | SUS304#鏡面不銹鋼 | ||
外箱材質 | SST41鋼板經過防銹處理后高溫粉體烤漆 | ||
電熱 | 采覆套式電熱器(SHEATHED HEATER)無塵化電熱發生器 | ||
配備 | 降溫風機、HEPAFilter、壓差計、流量計、方通層架 | ||
開門方式 | 私服+減速機+氣缸進行升降開啟門 | ||
控制箱 | 以上外尺寸均不含控制箱,控制箱可分體、連體設計 |